Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей: Практикум к спецкурсу ''Моделирование в микроэлектронике''

Практикум к спецкурсу ''Моделирование в микроэлектронике'' подготовлен на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 4 и 5 курсов физического факультета специальности 014100 ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы'', а также студентов 6 курса, обучающихся в магистратуре по направлению ''Физика'' (программа ''Физика полупроводников. Микроэлектроника'')